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  • 泛華恒興 質量流量傳感器校準系統
    北京泛華恒興科技有限公司

     

    a)產品概述

    質量流量傳感器校準系統作為質量流量傳感器生產線終檢校準設備,用于小量程質量流量傳感器的通訊功能測試以及不同溫度下的校準,以保證產品質量及精度。

    b)應用專利技術

    本系統中以下技術正在申請實用新型或發明專利:

    《批量傳感器固定可識別裝置》
    《無繞線針床夾具》
    《高密封閥組》
    《一種多氣路連接器裝置》

    c)系統功能

    主要功能

    描 述

    用戶管理

    管理用戶登錄及操作權限,按權限高低分為管理員、工程師、技術員、線長和操作員,管理員具有最高權限,可以添加、刪除和修改用戶信息;

    工單操作

    用于創建不同溫度下的工單任務,只有當前存在的工單被終止或完成時,才能創建下一個工單;

    參數配置

    用于工程師對校準或測試參數進行配置;

    模式選擇

    提供生產模式、工程師模式以及校驗模式共三種工作模式;

    錯誤日志瀏覽

    為用戶提供按時間查詢的錯誤日志瀏覽;

    數據存儲

    自動存儲測試過程數據。

    d)特性詳解 

    • 兼容多種信號輸出類型的傳感器——

       

      信號類型

      輸出方式

      模擬量

      電壓信號

      數字量

      IIC通訊信號

      SPI通訊信號

      PWM脈沖信號

       

    • 溫度可控范圍寬,穩定性優異——可實現-20℃~100℃范圍內不同溫度點的精確控制,溫度控制精度為 1℃,目標溫度下的溫度波動度為 0.2℃;
    • 良好的氣路密封性——采用鋼質氣管,采用少接頭設計,確保系統密封性。圖示是使用同一傳感器夾具進行5次(用不同顏色的曲線代表)泄漏測試時的泄漏率。(單位為sccm/s,測試壓力為2.5psi,保壓時間 20s,每個傳感器夾具包含4條氣路)
    • 高測試校準精度——氣體流量控制精度達 1sccm,溫度控制精度 1℃。
    • 高測試效率——系統可同時對32個被測件進行操作,8路總線并行的設計方法和溫度的快速穩定為Cycle Time節約了大量時間,達到160 DUTs/h,滿足生產線節拍的要求。

       測試校準穩定可靠——GRR實驗數據良好。圖示為校準200sccm量程的傳感器時不同流量點下(50/100/160/200sccm)的GRR數據,均<10%。

    • 便于維護——設計了專門的探針模塊用于從傳感獲信號點獲取信號,損壞時更該模塊即可;氣路裝拆方便;繼電器狀態通過指示燈顯示,指示直觀。
    • 完善的安全機制——智能流程判斷;提供急停等安全操作機制,在系統出現突發狀況時對人及設備形成保護。
     
     
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