概述
臺(tái)灣工業(yè)研究院的一個(gè)國家實(shí)驗(yàn)室正在進(jìn)行改進(jìn) 6MB SRAM 和 DRAM IC 生產(chǎn)工藝的研究。它們的工藝采用化學(xué)氣相沉積 (CVD) 系統(tǒng)。CVD 工藝使用有毒的化學(xué)物質(zhì)和氣體，反應(yīng)時(shí)也會(huì)有有毒氣體（如 BCL3、HBr 和 CL2）排放。清洗系統(tǒng)收集和排出來自沉積室的有害氣體，提供一個(gè)安全的工作環(huán)境。氣體被收集在高壓筒中。一旦高壓筒充滿，將用另一個(gè)空筒替代。
系統(tǒng)要求
在晶元生產(chǎn)線附近有 8 臺(tái)清洗設(shè)備。每個(gè)相距 30 到 50 米。由現(xiàn)場(chǎng)工人檢測(cè)設(shè)備壓力。由于設(shè)備和工作位置處于有毒氣體的環(huán)境中，一些工人不愿意從事這種工作。另外，即使對(duì)于愿意進(jìn)行這項(xiàng)工作的工人，在他們定期檢查高壓筒壓力時(shí)，他們也會(huì)受到高壓筒爆炸的威脅。工廠經(jīng)理請(qǐng)求研華幫助設(shè)計(jì)一個(gè)自動(dòng)的連續(xù)監(jiān)測(cè)系統(tǒng)來檢測(cè)清洗筒的壓力。系統(tǒng)必需能夠覆蓋較大的范圍（由于清洗設(shè)備安裝在一個(gè)較大的區(qū)域），必需具有在噪聲環(huán)境下進(jìn)行遠(yuǎn)程數(shù)據(jù)采集的功能。也必需有較高的壓力監(jiān)測(cè)精度。
系統(tǒng)體系結(jié)構(gòu)
監(jiān)測(cè)系統(tǒng)由壓力表、8 個(gè)模擬量輸入模塊 (ADAM-4011)、1 個(gè) RS-232 到 RS-485 的轉(zhuǎn)換器 (ADAM-4520)、一個(gè)主機(jī)和一個(gè) LABTECH CONTROL 軟件包組成。系統(tǒng)框圖如下所示：每個(gè) ADAM-4011 模塊和一個(gè)壓力表一起安裝在清洗室附近。ADAM-4011 把 1-5 V 的壓力表輸出信號(hào)轉(zhuǎn)換成 ASCII 格式并把它們通過雙絞線 RS-485 網(wǎng)絡(luò)發(fā)送到主機(jī)電腦。RS-485 網(wǎng)絡(luò)和 ADAM 模塊在 EMI 環(huán)境下能良好地運(yùn)行。網(wǎng)絡(luò)最遠(yuǎn)可以擴(kuò)展至 1.2 km。來自壓力表的遠(yuǎn)程數(shù)據(jù)使用 ADAM-4520 模塊從 RS-485 信號(hào)轉(zhuǎn)換成 RS-232 信號(hào)，然后發(fā)送到控制室的主機(jī)電腦。 LABTECH CONTROL 駐留在主機(jī)電腦內(nèi)。這個(gè)圖形化的、友好的人機(jī)界面在控制室的監(jiān)視器上顯示顏色編碼的圖例。綠燈圖標(biāo)告訴操作者給定的高壓筒正在充氣。紅燈圖標(biāo)表示筒內(nèi)的壓力過高，應(yīng)當(dāng)被替換。
結(jié)論
安裝該監(jiān)測(cè)系統(tǒng)的清洗設(shè)備可以實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)和報(bào)告設(shè)備壓力。爆炸的可能性因而大大降低，雇員的抱怨也減少了。工廠經(jīng)理現(xiàn)在正在計(jì)劃把該網(wǎng)絡(luò)擴(kuò)展為局域網(wǎng) (LAN)，使工程師能夠觀察到來自工廠內(nèi)任何終端的系統(tǒng)狀態(tài)。
