擴散爐工作區間內（800到1000mm)一般需要±01℃（個別要求±0.5℃)。多數情況下只使用外溫控制，內溫只在數據測試（Profiling）和2-3周一次的矯正時使用。不同晶片及數量的要求內溫相對外溫設定值由profiling給出。使用內溫時，使用串級控制，內溫輸出作為外溫設定值使用。為防止電流過大，會加一些電流限定或限制值斜坡。外溫取2熱電偶之高值。一般800到1200度內擴散，一次約12-14小時。
控制難點：
1：溫度精度的保持。＋0.1度需要相當的控制工藝（PID參數）積累。
2：程序的自由度。多組目標值數據要存儲并自由切換。避免干涉。
3：電熱絲斷線預警；通常使用CT監測電流，配以電壓監視。也有使用監視同等條件下的輸出變化（比如從60%升高到70%)來判斷老化程度給出預警。
FA-M3適用模塊：
各電熱絲溫度控制－－－－-F3CU04-1S:
☆提供200ms周期，0.1度的高精度控制,溫度控制曲線條數不受限制。
☆單系統最多144loop溫控控制，節省了大量的安裝空間，控制更靈活，方便聯網擴展。
☆各點獨立，不必加裝隔離柵，減少電熱絲間干擾。
☆由于是模塊式，不再需要PLC與溫度調節器間繁瑣的通信編程和布線。
☆使用專用軟件設定PID/測試/監視。不必使用記錄儀輔助。多路圖彩監視為調試提供了方便。
其他－－－－-斷線檢測和e-RT3智能CPU
☆檢測加熱器電流的下限，斷線報警。
☆補償電源電壓變動，以防止誤報警。
☆e-RT實時系統CPU完成主控部和溫度控制部處理，代替傳統PC，系統更穩定。
