awm40000系列氣體流量傳感器包括不帶放大和放大/ 信號處理的信號。氣體流量傳感器有一個由加熱器與溫度敏感元件組成的薄膜隔熱的電橋式結構。該電橋式結構對流過芯片的空氣或其他氣體流量有靈敏和快速的反應。awm43600v 為6slpm 器件。它主要的特點是: 。最新的微加工技術 。最高檢測流量0-6slp 。工作溫度